- 产品品牌:创达
1. 系统介绍
在半导体生产工序中,需要使用各种有机和无机溶剂,这些化学品通过系统的输送,持续地为生产设备提供化学品支持。化学品系统通过PLC控制执行。
CDS:Chemical Distribution System
功能:供应液态化学品,依照化学品特性分将化学品的输送方式可分为帮浦(pumping)及氮压(N2 pressurize)至使用端。
System Properties:
安定: 全系统接液材料使用Teflon or SS 316L BA材质以确保材料安定性。
安全: 双套管(CPVC/PFA)、(SS 304有缝/ PFA),, Leak Sensor, Pressure Indicator, Bar code …等以确保系统安全及异常能于第一时间反应。
稳定: 以Dual Drum, Dual Pump, N+1 Filter等设计,达到系统供酸不中断。
2. 管路:
1) 根据各个介质不同,采用不同材料;
2) 管路整体部分按照少走弯头,尽量避开人行通道原则。
本公司供应创达化学品管道安装质量保证,欢迎咨询洽谈。